东宇东庵（无锡）热处理系统有限公司告诉你DLC涂层功能在哪些范畴得到使用？（下）

1、使用DLC涂层低冲突系数作为MEMS固体润滑剂

微型机械驱动器具有运动的部分，如微型发动机、齿轮、轴承，在运转进程中会经历外表的严密接合。在微标准下，粘性剪切力特别高，所以液态润滑剂不再是下降冲突的有效途径。以Si为根底的微型电动机、微型发动机仅能正常运转几分钟接着就会因为冲突而导致溃散。DLC涂层具有很低的冲突系数并且磨耗率(每单位滑动间隔的磨耗量)也很低，使它们成为MEMS设备抱负的固态润滑剂。试验阶段的线性电动机，滑动件外表覆盖了5~15nm厚的DLC层，延长了部件的使用寿命至(15~80）×106个周期。尽管大多数的MEMS马达并不使用于腐蚀性的空气环境中，但它们还是会经过物理吸附效果来接触到外界腐蚀环境，这个进程则会使资料的冲突耐磨功能产生相当大的动摇。四面体非晶碳膜(ta-C)在这方面的表现比含氢非晶碳膜(a-C：H)优越，它们的冲突系数在真空及枯燥环境下较高，但却在相当的规模内表现得很稳定，即便在湿度添加的环境中也没有明显添加。

2、使用DLC涂层多种功能充当MEMS结构资料

DLC涂层作为MEMS的结构资料时吸引人的特色便是它们高的杨氏模量，高硬度，高的热传导性，低的热膨胀系数。因为具有高的谐振频率，金刚石和DLC涂层现已成功地作为结构性资料使用在悬臂梁和梳状驱动器上；因为低的热膨胀系数，它们使用在双压电晶片结构上；因为能够很大程度地散热，它们广泛使用于MEMS的封装；而使用在微型齿轮和线性电动机上则是使用了它们低的冲突系数和高的抗磨损功能。以DLC为根底的MEMS设备包含传感器和驱动器等。

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