东宇东庵(无锡)热处理系统有限公司今天主要和大家一起来看看dlc涂层的力学性能是什么?
dlc涂层是一种由碳元素组成,与钻石性质相似,一起又有石墨原子组成的物质。类金刚石dlc涂层。dlc涂层是一种无定形薄膜,由于其硬度高、弹性模量大、冲突小、耐磨性好、真空冲突学功用好等特征,被广泛应用于冲突涂层中,遭到冲突学界的重视。现有的dlc涂层薄膜制备方法有很多种,不同的制备方法所运用的碳源和离子能量抵达基体表面时,堆积的dlc薄膜在结构和功用上有很大的差异,而且具有不同的冲突特性。
一、硬度和弹性模量。dlc膜的硬度和弹性模量随堆积方法的不同而有很大的不同,选用磁滤阴极电弧堆积法可以得到硬度抵达乃至超越金刚石的dlc膜,dlc膜的硬度可达50GPa以上,而离子源结合非平衡磁控溅射堆积法的硬度可达21GPa。在dlc膜中,Si,N三种组分的掺入可使DLC膜的硬度有所进步。薄膜材料的弹性模量较高,尽管低于金刚(1100GPa),但显着高于一般金属和陶瓷材料。
二、内应力与粘结强度。内应力和结合强度是抉择薄膜稳定性和运用寿命的两个重要因素,内应力高和结合强度低的dlc膜在运用中易发生裂纹、褶皱,乃至坠落,因此制备出的DLC膜有恰当的压应力和高结合强度。大多数研讨标明,dlc膜直接在基体上堆积,膜/基结合强度一般较低,选用中心梯度过渡层法,可以进步DLC膜与基体的结合强度,DLC膜的结合力抵达44N-74N,膜导电性整体厚度抵达5um。
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