今天东宇东庵（天津）热处理系统有限公司接着上一篇我们继续谈论DLC涂层在生物医学、微电子领域的应用。

　　2、运用DLC涂层低抵触系数作为MEMS固体润滑剂

　　微型机械驱动器具有运动的部分，如微型发动机、齿轮、轴承，在作业进程中会阅历表面的紧密接合。在微标准下，粘性剪切力特别高，所以液态润滑剂不再是下降抵触的有用途径。以Si为基础的微型电动机、微型发动机仅能正常作业几分钟接着就会由于抵触而导致溃散。DLC涂层具有很低的抵触系数而且磨耗率(每单位滑动间隔的磨耗量)也很低，使它们成为MEMS设备志趣的固态润滑剂。

       试验阶段的线性电动机，滑动件表面覆盖了5~15nm厚的DLC层，延长了部件的运用寿命至(15~80）×106个周期。尽管大多数的MEMS马达并不运用于腐蚀性的空气环境中，但它们仍是会经过物理吸附作用来接触到外界腐蚀环境，这个进程则会使材料的抵触耐磨功用发生恰当大的不坚定。四面体非晶碳膜(ta-C)在这方面的体现比含氢非晶碳膜(a-C：H)优胜，它们的抵触系数在真空及枯燥环境下较高，但却在恰当的规划内体现得很安稳，即便在湿度添加的环境中也没有明显添加。

　　3、运用DLC涂层多种功用充任MEMS结构材料

　　DLC涂层作为MEMS的结构材料时吸引人的特色就是它们高的杨氏模量，高硬度，高的热传导性，低的热膨胀系数。由于具有高的谐振频率，金刚石和DLC涂层现已成功地作为结构性材料运用在悬臂梁和梳状驱动器上；由于低的热膨胀系数，它们运用在双压电晶片结构上；由于能够很大程度地散热，它们广泛运用于MEMS的封装；而运用在微型齿轮和线性电动机上则是运用了它们低的抵触系数和高的抗磨损功用。以DLC为基础的MEMS设备包括传感器和驱动器等。

　　关于DLC涂层功用在哪些领域得到运用大致介绍如上所述，上文仅仅是关于DLC类金刚石涂层运用领域有哪些的简略介绍，除了医疗设备和电子科技外，DLC涂层还有许多运用方向。

       东宇东庵（天津）热处理系统有限公司出产的DLC类金刚石涂层功用优异，质量牢靠，在多个还有得到运用，欢迎有需求的客户致电咨询。